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NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學(xué)輪廓儀為L(zhǎng)CD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS,Engineering Surfaces等領(lǐng)域提供納米級(jí)別精度的測(cè)量.
Radiant塔式薄膜壓電測(cè)量裝置可測(cè)量懸臂梁上沉積的壓電薄膜的壓電系數(shù)。施加在壓電薄膜上的電壓將使基片向不同方向彎曲。所述位移被配置在懸臂端的運(yùn)動(dòng)的位移傳感器捕獲。Radiant測(cè)試包可兼容72毫米(4“)和43毫米(2”)兩種懸臂梁,Radiant還提供了一個(gè)塔變量(LDV)-與激光測(cè)振儀或Polytec的系統(tǒng)。
Nanosystem NV-2700 非接觸式3D輪廓儀,通過(guò)非接觸式的方法對(duì)0.1nm-270nm的3維表面形貌進(jìn)行高進(jìn)度和高速測(cè)量。利用物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)可方便的進(jìn)行放大倍數(shù)的轉(zhuǎn)換。使用拼接功能可分析寬廣的表面。
Nanosystem NV-2400非接觸式3D輪廓儀通過(guò)非接觸式的方法對(duì)0.1nm-270nm的3維表面形貌進(jìn)行高進(jìn)度和高速測(cè)量。利用物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)可方便的進(jìn)行放大倍數(shù)的轉(zhuǎn)換。使用拼接功能可分析寬廣的表面。
Nanosystem NV-1000白光干涉儀是利用白光干涉特性來(lái)進(jìn)行表面形貌的測(cè)量,它結(jié)合了典型的WSI非常高的垂直分辨率和一個(gè)非常大的面積高達(dá)21.7毫米x16.3毫米。這使得高精度和大面積快速測(cè)量成為可能,而無(wú)需縫合。
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