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NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學輪廓儀為LCD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS,Engineering Surfaces等領域提供納米級別精度的測量.
Radiant塔式薄膜壓電測量裝置可測量懸臂梁上沉積的壓電薄膜的壓電系數(shù)。施加在壓電薄膜上的電壓將使基片向不同方向彎曲。所述位移被配置在懸臂端的運動的位移傳感器捕獲。Radiant測試包可兼容72毫米(4“)和43毫米(2”)兩種懸臂梁,Radiant還提供了一個塔變量(LDV)-與激光測振儀或Polytec的系統(tǒng)。
Nanosystem NV-2700 非接觸式3D輪廓儀,通過非接觸式的方法對0.1nm-270nm的3維表面形貌進行高進度和高速測量。利用物鏡轉臺可方便的進行放大倍數(shù)的轉換。使用拼接功能可分析寬廣的表面。
Nanosystem NV-2400非接觸式3D輪廓儀通過非接觸式的方法對0.1nm-270nm的3維表面形貌進行高進度和高速測量。利用物鏡轉臺可方便的進行放大倍數(shù)的轉換。使用拼接功能可分析寬廣的表面。
Nanosystem NV-1000白光干涉儀是利用白光干涉特性來進行表面形貌的測量,它結合了典型的WSI非常高的垂直分辨率和一個非常大的面積高達21.7毫米x16.3毫米。這使得高精度和大面積快速測量成為可能,而無需縫合。
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