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奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測(cè)量顯微鏡

簡(jiǎn)要描述:奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測(cè)量顯微鏡系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度,此外,像差也被*消除,以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2019-10-26
  • 訪  問  量:2233

詳細(xì)介紹

品牌OLYMPUS/奧林巴斯價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域電子,航天,汽車

奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測(cè)量顯微鏡

通過整合光學(xué)顯微鏡的測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量

多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能
奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度,此外,像差也被*消除,以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。

作為高度測(cè)量的先鋒,繼續(xù)提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測(cè)量

共聚焦自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)光路

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量,而且Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成功開發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的***度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。


測(cè)量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)
STM7測(cè)量顯微鏡設(shè)計(jì)注重易用性
提供載物臺(tái)以適合眼下的樣本大小
 

[常見問題] 
短測(cè)量行程無法滿足較大樣品的測(cè)量需求。
目前為止,大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí),效率不高。
由于可測(cè)量的范圍窄,無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上,以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。

 

[STM7解決方案]
共有四種*的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用,分別為:50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。
Ÿ 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng),并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程,這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。更多詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢上海富萊光學(xué)、奧巴儀器。

使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察
[常見問題]
大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以測(cè)量物鏡或金相物鏡,無法同時(shí)滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案]
奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡可以通過安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡,而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后,便可使用金相物鏡。這意味著, STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過這種方式,無論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶選擇*的觀察方法。
 

測(cè)量物鏡
由于測(cè)量物鏡具有非常長(zhǎng)的工作距離,因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候,無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外,借助測(cè)量物鏡的低倍率能力,可以一次觀察到較大的視場(chǎng)。

金相物鏡
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是,在明場(chǎng)觀察之外還可以對(duì)應(yīng)暗場(chǎng),偏光和微分干涉觀察。

奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測(cè)量顯微鏡規(guī)格

 

小型手動(dòng)鏡架
STM7-SF

小型電動(dòng)鏡架
STM7-SFA

中型手動(dòng)鏡架
STM7-MF

中型電動(dòng)鏡架
STM7-MAF

大型手動(dòng)鏡架
STM7-LF

大型鏡架
STM7-LFA

顯微鏡
鏡架


聚焦

垂直移動(dòng)范圍

175 mm

145 mm

zui大的測(cè)量高度

120 mm(配備測(cè)量物鏡)
175 mm(配備金相物鏡)

90 mm(配備測(cè)量物鏡)
145 mm*1(配備金相物鏡)

Z軸測(cè)量分辨率

0.1 μm

Z軸驅(qū)動(dòng)方法

手動(dòng)同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕

電馬達(dá)驅(qū)動(dòng):
●聚焦按鈕:
移動(dòng)速度
8 mm/s(zui大)
●微/粗調(diào)焦旋鈕:
微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
一周移動(dòng)量)
有4檔可供選擇
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)

手動(dòng)同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕

電馬達(dá)驅(qū)動(dòng):
●聚焦按鈕:
移動(dòng)速度
8 mm/s(zui大)
●微/粗調(diào)焦旋鈕:
微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
一周移動(dòng)量)
有4檔可供選擇
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)

手動(dòng)同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕

電馬達(dá)驅(qū)動(dòng):
●聚焦按鈕:
移動(dòng)速度
8 mm/s(zui大)
●微/粗調(diào)焦旋鈕:
微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
一周移動(dòng)量)
有4檔可供選擇
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)

照明

LED照明

白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明

鏡筒

正像單目鏡筒,正像三目鏡筒(100:0/0:100)

物鏡

測(cè)量顯微鏡用

MM6-OB系列

金相顯微鏡用

MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列

目鏡

MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22)

載物臺(tái)

測(cè)量范圍

STM7-CS50:
X
軸 50 mm, Y軸 50 mm
STM7-CS100:
X軸 100 mm, Y軸 100 mm

STM7-CS200:
X
軸 200 mm, Y軸 200 mm

STM7-CS300:
X
軸 300 mm, Y軸 300 mm

測(cè)量***度
(L:測(cè)量長(zhǎng)度)

STM7-CS50: (3+L/50) μm
STM7-CS100: (3+2L/100) μm

(3+4L/200) μm

(3+6L/200) μm

***度保證重量

STM7-CS50: 5 kg
STM7-CS100: 6 kg

10 kg

15 kg

計(jì)數(shù)器顯示

軸數(shù)

3

單位

毫米/微米/英寸/密耳

zui小分辨率

0.1 μm

外形尺寸(寬×長(zhǎng)×高)(mm)

466 x 583
x651

466 x 583 x 811

606 x 762 x 651

606 x 762 x 811

804 x 1024 x 686

804 x 1024 x 844

重量

約84 kg

約92 kg

約152 kg

約159 kg

約277 kg

約284 kg

額定功率

100-120/220-
240V ~
50/60Hz
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí),可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

物鏡工作距離

倍率

1x

3x

5x

10x

20x

50x

100x

物鏡

測(cè)量物鏡

MM6-OB系列

59.6

76.8

65.4

50.5

-

-

-

金相物鏡

MPLFLN系列

明場(chǎng)

-

-

20.0

11.0

3.1

1.0

1.0

LMPLFLN系列

長(zhǎng)工作距離

-

-

22.5

21.0

12.0

10.6

3.4

MPLFLN-BD系列

明場(chǎng)/暗場(chǎng)

-

-

12.0

6.5

3.0

1.0

1.0

LMPLFLN-BD系列

明場(chǎng)/暗場(chǎng)
長(zhǎng)工作距離

       

 

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